二手 DISCO DCS 140 #9217393 待售

DISCO DCS 140
ID: 9217393
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140是由DISCO Corporation开发的晶圆和掩模洗涤器。DISCO DCS140用于擦洗和清洁硅片掩模,从而保持高水平的生产产量,为半导体行业提供增强的质量控制。DCS 140利用了全自动和计算机控制的操作,使其能够准确可靠地同时擦洗多个芯片。这种设备设计有一个槽形支架,最多可容纳七个双面晶片,这些晶片可以通过设备的机械臂装卸。它还采用了HeNe激光器来定位晶片支架,并通过应用适当的清洁剂清洁单个晶片。最初,设备将晶片浸入清洁溶液中,然后将其从溶液中取出。之后用超声波设备和刷子擦洗碎屑,去除表面的异物、碎屑和颗粒。然后这些污垢颗粒被吸出清洁区域,不需要任何手动刷牙。DCS140还有一个超声波系统,它使用高频声波来振动芯片上的污垢。该装置的精确度和精确度使洗涤工艺更加高效和精细。DISCO DCS 140提供了多种旨在减少折旧和停机时间的功能,例如,泵的使用寿命更长、无振动的清洁过程以及仅1秒的帧内拾取时间。该单元还与包含1微米过滤器和10微米过滤器的滤水机结合在一起,使其能够过滤出小于0.2微米的颗粒,为清洁提供纯净水。此外,这台机器还可以配置为使用DI水操作,以便它可以一次执行多个清洁周期。总而言之,DISCO DCS140为半导体制造的掩模和晶圆清洗任务提供了高效、先进的解决方桉。其精确和自动化的操作工具可确保高质量的产量,并为用户提供可靠和经济高效的清洁解决方桉。
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