二手 DISCO DCS 140 #9246368 待售

DISCO DCS 140是一款精密的晶圆掩模洗涤器，设计用于处理光刻、蚀刻、CMP等半导体加工应用。该机器具有广泛的运动和自动擦洗功能,可用于高精度清洁光刻光栅、曝光面罩、闸门和防反射表面。DISCO DCS140的设计目的是实现彻底清洁,减少材料浪费,从而在关键生产过程中实现最佳的成本效益。DCS 140由3轴运动控制设备构成，具有由高精度直流伺服电动机驱动的X-Y穿越级。这种紧凑的系统可以根据应用程序和基板类型进行模式洗涤和区域清洁。此外，该机具有由直线电动机驱动的z轴，提供高达200 µm的高速扫描范围。这些重要的特性使洗涤器能够高精度地完成多项复杂的清洁任务。洗涤器的晶片自旋速度高达180 rpm，可快速彻底清洁晶片，污染最小。此外，DCS140还配备了一个防止腐蚀和污染的净水装置。该机器还能够提供多种清洁路径，使清洁液易到达甚至无法进入的区域。而且，该机拥有多语言液晶触摸屏，为用户和操作员提供了对洗涤器的简单控制。这个用户友好的界面有一个实时数据监控机，使操作员更容易评估清洗过程。洗涤器的软件还具有数据保存和编辑功能,使用户能够根据需要快速回忆和自定义清理周期。DISCO DCS 140是一款高效且用途广泛的晶圆掩模洗涤器,可对各种材料和基板进行一致而准确的清洁。其高精度的特性和用户友好的界面使其成为现代半导体生产工艺的理想选择。