二手 DISCO DCS 140 #9277969 待售

ID: 9277969
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140是一款先进、高性能的晶圆和掩模洗涤器,旨在实现最高、最干净、最稳定的平面化性能。此模型旨在提供准确、可重复的结果,同时减少处理时间、成本和风险。DISCO DCS140采用先进的洗涤技术彻底清洁和抛光晶片和口罩。这款车型配备了先进的四轴控制设备,允许精确、均匀的洗涤和最小的晶片对晶片的变化。其改进的旋转主轴和电机实现了精密清洁,而主轴检测功能确保了纺纱洗涤头的精确定位。为了在整个基板表面实现最佳的每英寸划痕(SPI)控制和一致的清洁度,它具有先进的振动抛光和擦洗系统。此外,高压喷水装置确保晶片和口罩的彻底和有效的清洁。洗涤剂输送机设计为按照洗涤器的最佳设置提供保证清洁所需的精密洗涤剂量。其细环定位精度和短洗涤周期时间有助于减少周期时间。此外,此模型还可定制以适应用户的特定过程,从而实现快速高效的转换,并提供最少的操作员培训。最后,DCS 140旨在提供安全的操作。它包括一个臭氧废气清洁工具,用于清除清洁会议期间产生的臭氧和其他气体。其多步安全设计使其成为市场上最可靠的洗涤器之一,而其大型、开放式的设计使其易于清洁维护。总体而言,DCS140洗涤器是一个高度先进、高性能和可靠的单元,可帮助用户实现最高质量的平面化性能,同时帮助他们减少处理时间、成本和风险。
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