二手 DISCO DCS 140 #9277978 待售

DISCO DCS 140是由半导体行业工业解决方桉领先制造商DISCO Corporation开发的晶圆和掩模洗涤机。它设计用于清洁半导体芯片和其他微电子器件制造过程中使用的晶片和掩模。洗涤器利用加热和加压的清洁溶液喷雾来清洁晶片和面罩细腻表面的表面污染物，并去除基板表面各层之间的颗粒。当清洁过程开始时，晶片或口罩被放置在DISCO DCS140的双门室内。然后将腔室密封并加压至8.6psi，加热至29-32°C。接着，一种洗涤剂泡沫被引入腔室，这又是由加压空气和热水推动，擦洗晶圆和面膜的表面。泡沫和加压液体喷雾的结合有助于去除晶圆和面膜表面的污垢、油和其他污染物。清洗完成后，任何残留材料都要用热水喷雾冲洗掉。水也冷却腔室和加工过的晶片或面膜。最后，晶片/口罩在腔室降压时用过滤空气干燥。在DCS 140中可以调节输送速率和液滴大小以及洗涤温度和压力。这可以由操作员通过用户友好的触摸屏控制面板来完成。DCS140是为提高安全性而设计的,具有安全锁存器功能,可防止腔室打开,除非压力为0。此外,所有关键组件都配备了电子停止开关,以便在紧急情况下能够快速安全地关闭机器。DISCO DCS 140也是为了成本效益和高吞吐量而设计的，每次运行最大容量为28晶圆。此外，该机易于维护，并且经过专门设计以减少洗脱用量。这有助于大幅降低处理成本。DISCO DCS140是一种用途广泛、可靠的晶圆和掩模洗涤机.它旨在提供可靠和一致的清洁性能,提高产量并降低成本。这种洗涤器非常适合广泛的半导体应用，并确保快速和一致的结果。