二手 DISCO DCS 141 #293597232 待售
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DISCO DCS 141是一款晶圆和掩模洗涤器,旨在提高半导体行业的成本效益和生产率。这种装置有效地去除半导体标线和化学机械平面化(CMP)垫片表面的缺陷、颗粒、氧化层和其他污染物。它的清洁速度高达每小时2000个晶圆,提供高效的洗涤,对吞吐量的影响最小。DISCO DCS141晶片和掩模洗涤器是一种功能强大的工业级设备,专为热、化学和机械工艺优化而设计。该机配有磨料垫头和刷子,用于精确擦洗。其专利的"多向洗涤"设备确保了控制和均匀的材料吸收和去除。该装置还具有准确的剂量、清洁和刷子选择能力,能够有效清除污染,而不会对基板造成重大损害。DCS 141采用单步平面化工艺,以多种方式优化晶圆清洗。此过程从晶片中去除层层材料,从而实现更快、更可靠的CMP过程。这样可以提高基材厚度和提高产量,降低成本和周期时间.此外,DCS141是一个可靠和坚固的机器,提供卓越的性能和一致可重复的结果.它使用一个集成的真空系统来捕获和去除颗粒,用于清洁和无颗粒的过程。DISCO DCS 141的运行温度也可以快速准确的调节,允许对基材材料性能进行追溯、控制和优化。创新、直观的用户界面使监控和控制过程变得容易。DISCO DCS141还具有流程数据记录和单元诊断功能,使工程师能够监控洗涤阶段,并根据流程参数将机器设置为可靠运行。它还具有确保用户安全工作的安全功能。总之,DCS 141晶片和掩模洗涤器是一种功能强大、经济高效的工具,旨在提高半导体制造的生产率。它具有精密洗涤和精确剂量等多种特点,可提高工艺性能和无污染基板。该机适合多种清洁应用,是领先半导体制造商的绝佳选择。
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