二手 DISCO DCS 141 #293597233 待售

ID: 293597233
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141是一种最先进的晶片和掩模洗涤器,可以清洗各种晶片和光掩模。它设计用于对直径不超过6英寸的晶片和口罩进行高效、高质量的擦洗。DISCO DCS141旨在为晶片和口罩提供快速、可重复和准确的清洁,同时具有统一和选择性的清洁功能。DCS 141具有强大的平台设计,具有高精度工程设计和定制组件,即使在苛刻的生产环境中也能确保最佳和可靠的运行。洗涤器由一个主洗涤器单元、晶圆/掩模台、提升和对准单元以及一个控制器系统组成。洗涤器由用户友好的触摸面板界面控制,允许用户定制洗涤器速度、气体压力和清洁时间等参数,以最适合应用程序的要求。洗涤器配有两级过滤系统和完全集成的洗涤工艺,可实现最高质量和均匀的清洗。在洗涤过程中,将离子化的氮和特别配制的洗涤剂喷洒到晶片或面膜上,从而可以擦洗晶片/面膜的所有表面,包括不受潜在污染的关键接触点。此外,DCS141还采用了创新的洗涤运动设计,消除了不必要的机械磨损,并确保了可重复的性能。DISCO DCS 141洗涤器的设计是为各种光刻面膜如铬、无铬和铬硅提供极为精确的清洁。它还采用了高度可靠和低维护的热风干燥技术,在运输前有效地干燥光掩模,以满足光刻的关键要求。为确保可操作性和减少停机时间,DISCO DCS141设计为易于重新配置,以满足半导体和电子行业不断变化的应用需求。洗涤器还具有用户友好、易于使用的软件控件,并提供操作报告以跟踪和记录洗涤器的过程。总体而言,DCS 141是高精度、可靠擦洗晶片和光掩模的理想解决方桉。它提供卓越的性能、灵活的配置和可靠的操作,以满足最困难的洗涤需求。
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