二手 DISCO DCS 141 #293629359 待售

DISCO DCS 141
ID: 293629359
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141晶片和掩模洗涤器是一种高性能晶片和掩模洗涤器,提供了一种高效的半导体晶片和掩模各种尺寸的清洗和除垢方法。洗涤器采用蒸气提取设备,设计用于基材和面膜生产线。洗涤器可以容纳直径从6英寸到60英寸的晶片,并且具有可变的洗涤压。洗涤器由一个双面洗涤器模块和一个由分离器、风扇、过滤器和排气管组成的抽取系统组成。洗涤器配有两块朝相反方向旋转的洗涤板,可单独调节压力和速度。洗涤板采用不锈钢制成,一侧带齿,另一侧光滑。这样可以彻底清洁晶片和口罩,并确保均匀且高质量的表面光洁度。洗涤器还配备了一个抽取单元,防止碎屑和灰尘在洗涤时进入过滤器或晶片或面罩。提取机有效去除小颗粒,可采用可变速度控制,允许更高或更低的洗涤压力进行调节。洗涤板也是温度控制的,确保清洁和除蜡过程的温度一致,并且可以冷却下来以增加安全性。洗涤器是为安全起见而设计的,配有一个安全护罩将洗涤板与操作员隔离,并配有盖子锁,确保操作员只有在洗涤器处于关闭位置时才能打开盖子。洗涤器还有一个内置的灯,以确保清洁过程中的最佳照明,以及在紧急情况下快速关机的紧急停止按钮。此外,洗涤器易于操作且需要最少的维护,其内置诊断工具有助于故障排除过程。DISCO DCS141晶片和掩模洗涤器是晶片和掩模洗涤器质量最高的高效可靠的工具,允许灵活、经济高效、安全的清洗。
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