二手 DISCO DCS 141 #293793929 待售

ID: 293793929
晶圆大小: 6"
优质的: 2021
Wafer cleaning system, 6" 2021 vintage.
DISCO DCS 141是一种高效可靠的晶圆和掩模洗涤器,可以满足各种生产应用的需求。它旨在轻轻清洁和抛光硅片和光掩模的表面,同时保持其结构、特性和稳定性。其清洁性能非常适合各种应用,包括但不限于:化学计量蚀刻和清洁工艺、用于半导体生产的基材稀释、沉积、粘结和脱缝。DISCO DCS141洗涤器能够处理直径不超过7英寸的晶片和分批或单件配置的200个元件。设备的洗涤室开合方便,使用维护方便。该腔室可容纳不同的清洁溶液,设计有一个深盆,防止可能造成损害的化学品和污染物飞溅。它还具有气动缩回系统,在清洗过程中可以安全地抓取和固定晶片和部件。坚固的DCS 141洗涤器配备了高效、优于传统洗涤技术的集成拉力控制单元。本机设计用于精确维持晶片与洗涤元件之间的压力,减少磨损,消除晶片经力的可能性。洗涤器还包括一个单点数字校准,可以方便和精确地调整洗涤器的条件。DCS141洗涤器配有高效的浆液洗涤臂,无需频繁更换过滤器即可提供出色的清洁效果。控制轮使压力和速度易于调整,可用于微调洗涤动作。这也允许对不同的应用和基板使用不同的压力设置--在洗涤过程中保护晶片。DISCO DCS 141在设计时考虑了安全性和便利性。一种高效的过滤工具可以清除颗粒和污染物,从而便于监测洗涤器的环境。该资产还具有自动关机和自我诊断监控功能,可提醒用户可能出现的任何机械问题。所有这些功能使DISCO DCS141成为一种高效、可靠且易于维护的晶圆和掩模洗涤器。
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