二手 DISCO DCS 141 #9108948 待售

DISCO DCS 141是一款全自动晶片和掩模洗涤器，设计用于各种基板的精确高效清洗。它能够擦洗和抛光半导体制造过程中使用的各种晶圆、掩模和其他组件。洗涤机具有高效、高速的洗涤头设计，保证了清洗过程的均匀。它可以接受直径不超过200毫米、厚度不超过0.3毫米的晶片。离心力发生器可产生足够的压力和速度进行深度洗涤和抛光。洗涤器用作DI水，pH在7.1至8.5之间，作为其清洁液。清洗过程采用集成控制器实现全自动，根据产品参数和基板规格自动调整洗涤压力和转速。为了安全起见,设备还会在遇到电源或水问题时自动关闭。DI水系统还设计用于检测洗涤过程中的任何气泡或夹带颗粒，防止其转移到晶圆。因此，清洗过程非常有效，产生更高的产量。DISCO DCS141还设有一个综合废物管理单元，便于收集和处理洗涤过程中产生的碎片。这确保了法规的遵守，并防止了不同基板之间的交叉污染。还包括一个石油回收装置，可长期重复使用直接投资水。废物管理机器有助于减少任何用于擦洗和抛光的危险或消耗品的消耗。此外,该机器还具有用户友好的操作面板,允许在各种制造应用程序中进行简单直观的设置。其可调运动工具和偏转传感技术使其能够以最小的变化高效清洁多种类型的基板。洗涤头也是为精确配置而设计的，可以根据要求轻松更换或更换。总体而言，DCS 141是一种可靠高效的洗涤机，专为半导体工业中各种晶圆和掩模清洁应用而设计。其用户友好的操作、自动化的资产和集成的废物管理模式使其成为任何精密晶圆和掩模清洁过程的理想选择。