二手 DISCO DCS 141 #9302502 待售

DISCO DCS 141
ID: 9302502
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141是一款最先进的晶圆和掩模洗涤器,旨在满足微电子行业的最高要求。它能够擦洗晶片和掩模基板,效果优异.DISCO DCS141采用了先进的设计,可容纳450毫米以下的晶圆和610毫米以下的掩模。这种灵活性使洗涤器能够用于各种应用。DCS 141采用两阶段洗涤工艺。首先,晶片经过H2O2预清洗,以除去任何磨料颗粒和嵌入的有机残留物。接下来是一个洗涤循环,这是基于一个改进的清洁溶液,利用超声波腔搅拌技术优越的润湿性能。优化后的溶液特别配制,提高晶圆表面清洁度,同时最大限度地减少表面损伤。DCS141还具有先进的洗涤器控制系统,可自动计算每种基材尺寸和类型的最佳加工参数。该系统可确保最佳洗涤效果,并有助于防止过度洗涤或清洁不足造成的损坏。DISCO DCS 141坚固的结构和封闭的工艺室提供了无尘环境,减少了频繁维护和维修的需要。该机还设计为通过自动控制清洁溶液的流动和利用水过滤系统清除任何悬浮颗粒来尽量减少污染。DISCO DCS141是洗涤晶片和掩模基板的理想工具,为现代微电子工业的需求提供了可靠、经济的解决方桉。其先进的设计和卓越的效果使它成为任何人寻找一个自动洗涤器为他们的生产线的完美选择。
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