二手 DISCO DCS 141 #9312489 待售

DISCO DCS 141是一款高效、经济实惠的半导体生产晶圆和掩模洗涤器。它是一种具有创新技术的皮带式工具，旨在提供晶圆、基材和窗罩的自动化和精确清洗。DISCO DCS141配备了用于大气臭氧扩散的精细图案传送带，提供一致和可靠的清洁性能。由直流伺服电机和皮带驱动系统驱动，确保精密准确的处理。此外，其水力动态流动臭氧，以实现最佳的清洁力和清除率。DCS 141非常适合大规模生产,因为它能够每小时处理多达1,000个晶圆。适用于干湿洗涤工艺，达到最佳清洗效果。湿洗工艺以技术先进、高效的冲洗机理为基础.这包括一个淋浴装置，它包括配置成产生均匀和恒定的水流通过晶圆喷嘴。干洗工艺采用基于大气的臭氧工艺，适用于高度敏感的工艺或周期时间较短的工艺。除了湿洗和干洗，DCS141还提供蚀刻和振动清洗功能。它配备了高性能气动执行器，能够达到高达55 Hz的振动频率，无论表面类型如何都能提供强大的攻击性。此外,它还具有两个独立的蚀刻室和两个针对不同应用的蚀刻解决方桉。这可以同时使用两种蚀刻技术,提供卓越的清洁性能。DISCO DCS 141还配备了高级软件包，提供了用户友好的触摸屏界面和工作流管理系统。它能够检测、监视和报告具有关键流程参数的错误。此外，它还配备了参数设置菜单、内置诊断和在线支持系统。DISCO DCS141是一款先进的晶圆和掩模洗涤器，提供可靠、高效、经济实惠的高端性能。其自动化的清洁能力，能够处理高达1000晶圆每小时，使其适合大规模生产。凭借其创新技术、用户友好的触摸屏界面和先进的软件包，它能够以最小的努力提供出色的清洁性能。