二手 DISCO DCS 141 #9355561 待售

DISCO DCS 141晶片和掩模洗涤器是一种精密清洁设备，设计用于先进的半导体晶片和掩模清洗应用。该系统专为洁净室而设计，并设有一个独立的洗涤模块，与各种洗涤材料兼容，包括水、溶剂和氨。洗涤模块配有温控浴，采用四向压力平衡阀，确保洗涤动作一致。洗涤装置能够在一个周期内洗涤多达100个晶片或口罩。洗涤过程以去离子水淋浴开始，以清除晶圆或面罩表面的灰尘、污垢和其他表面污染物。接着是带有水溶液的预涂层，以进一步清洁晶圆或遮罩表面。过程的第三步是实际洗涤，使用各种洗涤剂完成，具体根据晶圆或蒙版材料选择。洗涤过程用洗涤后循环完成，以确保任何剩余的洗涤剂被彻底冲走。机器的其他功能包括可调节速度的传送带,用于在洗涤过程中移动晶片或掩模,以及基于PC的图形用户界面（GUI）,以便于监视和控制刀具。资产还包括一些安全功能，旨在确保工人在操作过程中的安全。这些安全特性包括在盖子打开时防止洗涤操作的安全互锁，以及防止洗涤室中积压过大的减压阀。DISCO DCS141设计用于大批量生产环境,非常适合需要精确和可重复结果的晶圆和掩模清洁应用。该模型结合高精度技术和坚固的安全措施，使其成为可靠高效的清洁解决方桉，有助于保持晶圆或掩模质量的最高水平。