二手 DISCO DCS 141 #9361774 待售

DISCO DCS 141
ID: 9361774
优质的: 2006
Wafer cleaning system 2006 vintage.
DISCO DCS 141是用于生产数字元件的晶圆和掩模洗涤器。它的工作原理是结合化学和机械技术来清洁半导体掩模和其他设备,如MEMS和LED结构。DISCO DCS141从基板表面去除污染物,以提供更好的电气性能和清洁.洗涤器是一种全自动设备,具有集成的机械臂和其他机械部件,使其能够有效清洁敏感基板。MOTORMASTER单元是DCS 141的主要机制。它负责控制机械臂和洗涤器的其他部件,包括其在晶片上的运动和旋转。它的线性运动是由高精度的线性电动机实现的,以确保精确和精确的洗涤。DCS141能够在两种模式下操作-手动或自动。在自动模式下,系统可用于同时或多个晶圆清洗过程.无论发送多少晶片进行处理,这都能确保一致的洗涤质量。洗涤器还有一个创新的洗涤头。该头具有水性表面活性剂清洁单元和旋转刷机,这两个设计提供了一个有效的清洁过程。旋转刷子工具提供了一个温和的机械擦洗动作,去除颗粒残留物而不损坏晶片。Aqueous表面活性剂清洁资产使用一种专门的洗涤剂,该洗涤剂设计为对敏感的半导体底物安全。DISCO DCS 141还包括一个滤波模型,增加洗涤器的寿命,并允许方便的维护。Afilter由三层组成-粗、中、细-用于清除空气中可能对晶片造成损害的颗粒、灰尘和其他颗粒。此外,污泥泵还装入设备,以清除从晶片上擦洗掉的任何污垢或碎屑。总体而言,DISCO DCS141是一种高效的晶圆和掩模洗涤器,能够可靠地清洁敏感基板,同时保持清洁。其先进的功能,如机械臂、可编程的清洁过程和清洁系统,使其成为需要最大清洁度和精确度的生产过程的绝佳选择。
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