二手 DISCO DCS 1440 #293815564 待售

DISCO DCS 1440是来自半导体技术领先的DISCO Corporation的先进工业洗涤器，专门设计用于在半导体制造过程中清洗晶圆和掩模。DCS 1440能够清洗200-300 mm晶圆，并配有能产生49大气压的高压喷雾，喷枪喷嘴速度高达2m/s。洗涤器还配备了背面电离器，以最大程度地减少静电荷积聚，并且可以安全高效地擦洗晶圆和掩模表面，包括超薄膜。DISCO DCS 1440采用了"逆变控制-固定扭矩型"的刷式驱动电机和磨砂臂，以确保在擦洗晶圆顶部侧面时的平稳控制。磨砂臂的刷头具有六个不同角度和取向角度的阶梯式设计，使头部能够快速准确地调整和定位。此外，磨砂臂采用电子倾斜仪，用户可以精确调整磨砂臂的角度，精确控制刷头对晶圆和掩模表面的接触压力。DCS 1440还配备了可选的机械臂装置，使晶片处理自动化，能够一次处理大量晶片，减少操作员的工作量，并允许快速、高效的清洗。洗涤器有先进的内置污染监测设备，利用激光散射检测来测量清洗前后晶片表面存在的污染程度。DISCO DCS 1440具有最新更新的系统控制软件和触摸面板界面,使用户能够轻松设置、存储和重置晶圆和掩模清洁参数。喷嘴头组件的设计旨在最大限度地减少颗粒污染，提高维护的便利性。洗涤器也是为了优化安全性而设计的，因为它配备了互锁单元、气垫和晶圆操控式安全锁定机。综上所述，DCS 1440是一种最先进的晶圆和掩模洗涤器，为满足半导体制造的严格标准而建造。洗涤器配备了能产生49个大气压的高压喷雾工具、自动晶圆处理的机械臂装置、用于测量污染程度的先进污染监测仪资产、更新的控制软件和触摸屏界面以及各种安全机制。