二手 DMS M208 #9399898 待售

DMS M208是一种晶圆和掩模洗涤器，旨在使半导体制造的清洗过程自动化。洗涤器装有五个集成模块，包括盒式磁带到盒式磁带的运输、饱和前冲洗、洗涤、最后清洗和干燥。这一自动化过程在一个周期内从多个蚀刻元件的正面和背面清除有机污染物。清洁从盒式磁带到盒式磁带的传输开始,该传输从用户获取蚀刻组件的盒式磁带并将其移动到预饱和冲洗站。该站用液体溶液使蚀刻成分饱和，通常是过氧化氢或氢氧化钠（NaOH）的稀溶液。该溶液使用喷雾喷雾器，用于去除蚀刻组件中的残留颗粒。下一站是装有多个磨砂刷和可洗涤板的洗涤站。这些磨砂刷用于借助可洗涤板去除蚀刻部件中的有机污染物。该站还包括低流量淋浴，以保证均匀的洗涤性能。擦洗后，这些部件被转移到最后的清洁站，在那里进行无化学物质的清洁和最后的干燥。这个过程除去任何残留的有机污染物或残留的化学颗粒。擦洗过的和清洗过的部件随后被转移到干燥站。在这里，水分会从组件中去除，并且它们准备好被转移到各自的盒式磁带中，以便返回给用户。M208是一个完全自动化的系统，需要最少的操作员交互。它能够达到高达99%的颗粒去除效率，是为满足各种半导体制造需求而设计的。它减少生产停机时间,提高产量并降低生产过程中的污染程度。