二手 DMS M300 #9262351 待售

DMS M300
製造商
DMS
模型
M300
ID: 9262351
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Foup cleaner, 12" 2010 vintage.
DMS M300是一种晶圆和掩模洗涤器,旨在为清洁室环境提供可靠、可重复的性能。它旨在提供完整的过程控制和自动化,并为高效、灵活和安全的操作量身定制每一个功能。M300使用洗涤技术彻底清洁晶片和口罩。它配备了多级洗涤器头,由0.1微米喷嘴、0.2微米喷嘴和两级过滤设备组成。洗涤系统旨在确保所有晶片和掩模的均匀和一致的结果。另外的0.05微米空气/空气洗涤器也集成到单元中,以帮助确保洁净室安全。DMS M300还有一个内置的进程控制器,允许用户为洗涤进程配置精确的参数设置。设置可以调整洗涤压力、水温、流速和晶圆移动速度。为方便起见,该机器还具有可调计时器设置和自检功能,确保该工具始终保持最佳运行状态。M300是为了最大限度的安全和清洁而设计的。洗涤器具有防块资产,以防止来自外来颗粒的损坏。它还有一个自重置废料模型,用于清除清洁过程中产生的任何废物。与清洁压力接触的设备全部由316不锈钢制成,具有优异的耐腐蚀性。最后,DMS M300的设计目的是尽量减少其对环境的影响。该系统的所有部件都是为提高能效而设计的,并且需要最少的维护。过滤器是自清洁的,机器的设计是为了最大限度地减少它的浪费输出,减少它的功耗。总体而言,M300设计可提供可靠、可重复的性能和最大的洁净空间安全性。它是一个通用且可靠的工具,将在任何清洁环境中始终提供最佳效果。
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