二手 DMS M600 #9316329 待售

DMS M600
製造商
DMS
模型
M600
ID: 9316329
晶圆大小: 12"
Foup cleaner, 12" Mainframe.
DMS M600是利用先进的清洁和清洗技术清除半导体产品表面污染的晶圆和掩模洗涤器系统。洗涤器由一系列洗涤和冲洗阶段组成,可根据客户的具体需要量身定制。它旨在清除各种类型半导体产品表面的工艺残留物、污染物和碎屑,如裸硅晶片、掩模、步进器、计量工具等。DMS M 600集成了智能洗涤头,可针对不同的材料和应用优化洗涤过程。头部安装在伺服马达上,能够上下移动以及左右移动。这样,洗涤头可以在清洁过程中均匀地分散适当的洗涤介质。洗涤头有可调节的压力设置,可以根据正在清洗的材料来设置。M600使用的洗涤介质发泡低,无磨料,无危险。它是专门为清除难以触及的表面的颗粒、污染物和过滤残留物而配制的,可以回收利用,以提高效率和降低成本。洗涤器还包括一个可调的水管理系统,以确保在冲洗过程中使用最佳水量,并进一步降低成本。M 600还包括一个干燥过程,其中包括一个氮系统,以便在清洁和清洗过程完成后有效地清除表面的所有水分。该洗涤器是为工业用途而建造的,结构坚固,具有最大耐用性。DMS M600能够擦洗多达100个平面,设计用于清洁室环境。DMS M 600是去除各类半导体产品污染的高效、经济高效的方法。它操作简单,清洁干燥时间快,是许多半导体生产设施的理想选择。
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