二手 DNS / DAINIPPON HMS-TVM-300 #9159859 待售

DNS/DAINIPPON HMS-TVM-300是为半导体工业设计的先进晶圆和掩模洗涤器。洗涤器能够处理尺寸不超过500毫米的基板、面罩和晶片,并具有先进的可编程控制器,可精确控制洗涤器的处理过程。洗涤器具有多种特性，使其非常适合半导体工艺。洗涤器有一个平整的平台，可以支持高达300毫米的晶圆。该扁平件有一个特殊的涂层，以防止刮擦和磨损。洗涤器还具有高达200 LPH的高流量和50kPa的低运行压力。除洗涤外，DNS HMS-TVM-300还具有与硫酸、硝酸、氢氟酸等标准半导体蚀刻剂兼容的干燥蚀刻工艺。洗涤器还配备了光敏平台，用于加工光敏材料和可支撑最多8个尺寸可达100毫米的晶片的纺纱机。为了安全起见，洗涤器具有几个安全功能，包括操作员保护的外壳、自动关闭和警告系统以及吸能弹簧加载平台。洗涤器还与标准安全协议兼容，包括静态耗散和其他系统组件的正常运行。DAINIPPON HMS-TVM-300的设计具有紧凑的占地面积,适合在各种工作环境中安装。洗涤器还被设计为易于集成到现有的半导体生产线中，并且可以与材料传输系统和CMP抛光系统等其他系统接口。洗涤器提供高吞吐量和低维护成本,使其成为许多半导体工艺的经济高效的解决方桉。先进的可编程控制器提供了对洗涤过程的精确控制，使得高质量的洗涤结果在一致的基础上。洗涤器也具有很高的适应性，可用于加工多种材料和基材。