二手 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293596480 待售
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已售出
ID: 293596480
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Stripper, 12"
(4) Chambers
CIM: SECS / GEMS
Process: AZ / NMP, PGMEA, IPA
(2) Pump
Handler: IR / Slide / CR Robot
Factory interface: (3) FOUP
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SR-3000是为半导体制造和研究应用而设计的高度先进的晶圆和掩模洗涤器。该洗涤器为晶圆和掩模相关工艺的开发和测试提供了可靠、高性能的平台。DNS SR-3000能够处理直径达300 mm的晶片,并配备了多个可独立配置的洗涤头,以提供最佳的洗涤效果。该设备采用全自动洗涤工艺,带有计算机控制的可编程洗涤头。洗涤头充分利用超声波清洗技术,彻底清洁晶片表面或污染物掩模。洗涤头由安装在旋转圆盘中的两个多晶金刚石洗涤尖端组成,尖端设计用来清洁晶圆或面膜的边缘以及表面积。晶片或面膜以漂洗-干洗-干燥顺序清洗,从表面清除污垢和污染物,提高工艺质量。DAINIPPON SR-3000还采用高精度清洁系统,使用冷热两种水源,以确保可靠的清洁效果。SR-3000的清洁软件可确保晶片或掩模在加载到处理平台之前得到彻底清洁。该单元还可以配备自动晶片加载、晶片对准、晶片检测等附加功能。这些特性旨在消除任何污染的可能性,并确保晶片或掩模以可重复和可靠的方式处理。DNS/DAINIPPON SR-3000的设计非常适合任何类型的半导体生产环境。它包括一个面向过程的控制机器,能够根据所需的过程优化其配置。这使得DNS SR-3000特别适合在大批量生产环境中使用。最后,DAINIPPON SR-3000晶片和掩模洗涤器是一种旨在确保晶片和掩模的高效和可靠清洁,用于半导体制造过程的工具。洗涤头和相关功能的设计旨在确保最佳清洁性能,而又不牺牲可靠性和可重复性,而且洗涤过程非常简单,可以集成到任何类型的生产环境中。
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