二手 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293624557 待售

DNS/DAINIPPON SS-3000-AR是一种用于高精度清洗的自动晶圆和掩模洗涤器。它旨在清洁各种先进的半导体晶片和光掩模，并且能够执行各种专门的工艺。洗涤器配有集成清洁机械手，工作功能方便。机械手由可用于拾取和移动晶片的可编程提升臂以及能够向晶片输送精确数量的清洁溶液的先进喷雾设备组成。机械手还配备了晶圆故障检测系统，有助于确保晶圆被正确清洗。洗涤器能够对晶片和蒙版进行多种操作，包括：洗涤、抛光、蚀刻和热存储。对于每个工艺，各种专门的石块和清洁溶液都可以与先进的操作单元相结合，提供极其可靠和精确的清洁性能。集成的EDX（能量色散X射线）分析机允许对清洗过程前后晶片或掩模的状况进行全面评估。自动化工具还允许用户为每个进程编程自定义清洁配置文件。洗涤器装在一个坚固的外壳中，其工业设计提供无灰尘和无颗粒的环境。外壳还配备了集成通风资产，使温度和湿度保持在最佳水平。此外，该机具有可调节的清洗压力模型和自动诊断功能，以确保始终以最高效率运行。设备还配备了多种安全措施，有助于保护操作员不接触危险材料。洗涤器需要最少的维护,其设计目的是提供一致的结果级别,而不管处理的晶片或掩模的类型如何。