二手 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9379828 待售

DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer&Mask Scrubber是为半导体工业设计的先进的自动化晶片和mask洗涤设备。DNS SS-3000-AR具有高达30晶片/秒的惊人处理速度,能够以高度的一致性和准确性处理几乎任何类型的擦洗作业。该系统有一个精密的机械臂，配有一个全尺寸的微型洗涤器，能有效地清除晶片和口罩中的污染物，而操作员的干预最少。该设备采用模块化设计,可根据客户的具体需求进行定制配置和调整。洗涤臂具有强大的洗涤头，能够清除晶圆表面的灰尘颗粒和其他污染物。头部设计成在两个轴上移动，并且可以很容易地调节以匹配不同的晶圆尺寸。洗涤臂配有光学检测机，用于精确定位和清除污染物。晶片的清洗过程是通过结合先进的洗涤头和工具独特的多级清洗循环来实现的。多阶段循环包括预冲洗工艺、洗涤工艺、蚀刻工艺、最终冲洗工艺和干燥工艺。DAINIPPON SS 3000 AR还具有先进的掩模洗涤资产,配备了强大的磁盘洗涤器,可在蚀刻过程中高效清除沉积在掩模上的颗粒和污染物。该模型提供了一种自动起重设备，用于从洗涤器平台放置和拆卸口罩。此外，DNS SS 3000 AR配备了最新的安全功能，以确保操作员在操作过程中始终受到保护。所有组件都安装在一个坚固可靠的框架中,该框架专为长期使用而设计。DAINIPPON SS-3000-AR晶片和掩模洗涤器是现代半导体工业中晶片和掩模精密高效洗涤的理想系统。凭借其强大的洗涤头、多级循环、自动化的面膜洗涤单元以及高水平的安全特性，SS-3000-AR是工业清洁应用的理想解决方桉。