二手 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9176375 待售

DNS / DAINIPPON SS-3000
ID: 9176375
晶圆大小: 12"
Wafer scrubber, 12" Currently installed.
DNS/DAINIPPON SS-3000是一种专为去除表面颗粒而设计的晶圆和掩模洗涤器。该装置采用机械和化学洗涤技术相结合,以高精度去除小到10纳米的颗粒。DNS SS3000由两部分组成:e-Scope和洗涤器单元。E-Scope是一种显微镜,可放大目标表面的5,000倍大小,从而实现极精确的颗粒去除。洗涤器是另一个部件,具有洗涤器和微球冲洗设备的组合。喷流产生一股气流和洗涤剂并将其推向表面,而冲洗系统则将洗涤后的颗粒冲走。该装置由100 W风扇供电,使用多级过滤单元捕获颗粒。过滤器由高效颗粒状空气(HEPA)过滤器、碳过滤器和二级过滤器组成。HEPA过滤器捕获直径小至0.3微米的颗粒,而碳过滤器捕获洗涤过程中产生的有毒烟雾。二次过滤器收集由HEPA和碳过滤器去除的颗粒。DAINIPPON SS 3000允许用户调整洗涤喷嘴的强度,确保安全彻底的洗涤过程。它还具有光学位置检测和反馈控制机,可确保精确的颗粒去除和精度。此外,该设备是为自主操作而设计的。它可以编程为自主工作长达八个小时,并且可以在洗涤完成后关闭。这样可以确保颗粒被完全清除,即使在用户可能忘记关闭设备的情况下也是如此。DNS/DAINIPPON SS 3000是从晶圆和掩模中去除颗粒的可靠高效工具。它结合了机械和化学洗涤技术,确保了有效和彻底的清洁过程,而它的自主操作让用户能够自信和安心地执行他们的任务。
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