二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #9306111 待售
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-A Wafer&Mask洗涤器是专门为清洗集成电路制造光刻工艺中使用的光学元件而设计的。它由两个主要组成部分组成:洗涤单元和运输单元。洗涤装置负责对晶片表面施加清洁作用。它具有强大、可调的洗涤轮马达,配有紫外线(UV)灯和透明玻璃粗洗涤盘。洗涤轮马达设计方便平滑一致的洗涤动作。紫外线灯的作用是确保任何残留的污染物被照射和容易去除。粗糙的洗涤盘可有效去除顽固的颗粒和污染物。运输单元的设计是为了提供晶圆或掩模通过洗涤单元的一致而精确的运动。这是使用多个滚轮车厢和装有旋转滚筒轮的电动履带系统来完成的。车架和车轮的设计有利于晶圆或掩模的平稳、高效和精确的传输。DNS SSW 80A A是一种易于使用且经济高效的解决方桉,用于清洗集成电路制造中使用的晶片或掩模。它能够清洁灰尘、污垢和其他颗粒等表面污染物,并确保晶圆或掩模在光刻工艺之前是干净的。操作安全、高效、维护少。此外,洗涤单元和运输单元一起支持各种不同孔型的基板尺寸。
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