二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9023762 待售
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已售出
ID: 9023762
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Scrubber, 8"
(4) Cassette stage
(3) Front, (1) back, (2) reverse
Main controller: NEC computer
I-Robot Type:
Vacuum arm
Ceramic Pincette
Laser diode type mapping sensor
P-Robot Type:
(2) Wafer transfer main robots
Indexer:
(4) Cassette carrier station
(25) Wafer slots cassette
Scrubber:
Right arm bush (1 nozzle)
left arm D-sonic nozzle
Spin servo motor
(1) Nozzle wafer backside rinse
Cup Exhaust flow monitor with interlock
Rinse, back-rinse nozzle with flowmeter
Digital vacuum sensors and interlocked for spin unit
Currently stored in cleanroom
1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR是一种用于半导体制造的全自动晶圆和掩模洗涤器。它设计用于容纳各种晶圆和直径最大为8英寸的标线。该设备能够同时为多个晶片清洁具有1"磨砂路径和3"磨砂路径的单个标线。它的设计也允许批处理，使其可以同时擦洗多个标线。DNS SSW80A-AR的高速清洗系统由两个独立的刷刷机构和两个独立的清洗解决方桉提供动力。它的变速控制允许在高达3000rpm的速度下进行高度精确的擦洗操作。此外，该装置采用独特的两个喷嘴设计，减少产生的雾化或空气传播颗粒的数量，从而确保更清洁的工作环境。这种面罩洗涤器提供了几种先进的功能，以提高效率和准确性。例如,它的HD Auto Loader保持片断的恒定进给速率,从而确保不会忽略任何片断。内置计时器还允许对定时洗涤序列进行编程以提高精度。此外,该机器还配备了各种清洁解决方桉和织物过滤器,为用户提供了多种清洁选项。DAINIPPON SSW-80A-AR是为最大程度地提高安全性而构建的,其功能包括：警告操作员可能会受到伤害或损坏的警报灯、用于打开和关闭电源的外部电源开关,以及用于在紧急情况下关闭机器的紧急停止开关。此外，其高质量的结构设计，以提供卓越的可靠性和长期耐用性。DNS/DAINIPPON SS W80A AR是一种先进的晶圆和掩模洗涤器,非常适合密集的生产环境。其强大的清洁工具、精确的调节能力和高效的设计使其成为半导体制造的理想选择。
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