二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9149127 待售
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ID: 9149127
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Scrubber, 8"
(2) Front side scrubbing units
(2) Back side scrubbing units
Reverse unit
Transformer
2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR Wafer&Mask洗涤器是一种高度紧凑的自动化洗涤设备,专为半导体光掩模的清洁而设计。该系统由晶片洗涤器、面罩洗涤器和捕食者三个洗涤器模块组成。晶片洗涤器模块由一个通用传输单元组成，该单元最多可支持8个6英寸晶片盒式磁带。该机装有3轴高分辨率自动晶圆转子，能够旋转各种晶圆尺寸，包括直径不超过200毫米的标线。然后用洗涤剂溶液对晶片进行自旋喷涂和喷洗，以确保彻底清洁，然后进行高压冲洗。面罩洗涤器模块设计用于清洁液体镀金面罩，由三轴机械臂组成，自动定位至最佳洗涤角。这样可确保有效地从蒙版中移除所有表面缺陷。然后用洗涤剂溶液旋转喷涂面膜，然后用高压冲洗。捕食器模块是一种热板干燥工具，由于表面温度升高，可将晶片和面膜的洗涤过程中的残留气体密封起来。该资产包括一个能够达到800°C最高温度的电热器和一个用于检测热板热和电压变化的信号检测模型。设备还装有两级温度计时器，可精确控制干燥周期。DNS SSW80A-AR被设计为一种有效的半导体光掩模清洗系统。它的模块化设计确保了所有三个洗涤模块可以同时使用，允许在一个过程中高效清理多达八个6英寸晶圆和多达六十个掩模。此外，它的热镀预制器确保晶片和掩模的表面不会留下残留气体，从而允许高度可靠的材料处理。
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