二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9364251 待售

ID: 9364251
Wafer scrubber Missing parts.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR是一种晶圆和掩模洗涤机,旨在自动清洗半导体制造中使用的晶圆和掩模。它采用独特的空气洗涤工艺,轻轻去除晶片表面的污染物,清洗遮罩表面或光学透明层(如光致抗蚀剂)的残留物。空气洗涤器比手动清洗技术更好、更快、更精确,是半导体器件生产线中必不可少的工具。DNS SSW80A-AR晶片洗涤器采用五轴柔性臂设计,允许其进入晶片的顶部、底部和侧面,以确保在洗涤过程中晶片表面完全覆盖。这使得洗涤器能够清除难以到达的区域中的碎屑,这些碎屑会在研磨和抛光过程中对晶片表面造成污染。此外,洗涤臂可以定制,以适应不同的晶圆尺寸和材料。一旦晶片加载到洗涤器中,洗涤器就使用高速气流将颗粒清除。气流是由一系列看起来像圆形风扇的喷嘴形成的。洗涤过程分四个阶段进行:预清洗、洗涤、冲洗和最终清洗。空气洗涤工艺还使用表面活性剂性能较弱的专有洗涤剂,帮助进一步减少晶圆上的污染。在安全性方面,洗涤器保护工艺环境不受磨料洗涤过程产生的任何喷出颗粒或灰尘的影响。这是通过使用内置的HEPA(高效颗粒状空气)过滤器来实现的,该过滤器可以捕获进入工艺环境的任何颗粒或灰尘。这有助于为晶圆洗涤过程创造一个干净、安全的工作环境。最后,DAINIPPON SSW-80A-AR有一个自动化的控制系统,便于操作和监测从一个中央控制站洗涤过程。该系统还提供有关晶圆上检测到的污染程度的反馈,并将在发生任何异常情况时通知操作员。这有助于确保生产过程以最小的污染风险顺利进行。总体而言,DAINIPPON SSW80A-AR是一种高效的工具,有助于清洁半导体生产中使用的晶片和掩模。它的自动化控制系统使监测和操作更加容易,其先进的空气洗涤技术确保了更好和更快的清洁,最小的污染风险,同时提供了一个安全的工作环境。
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