二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #293591705 待售

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR晶片和掩模洗涤器是一种自动化晶片和掩模清洗设备,可用于解决最具挑战性和最复杂的表面污染问题。它采用压力和化学工艺的专有组合，在半导体制造中使用的晶片和掩模的表面上达到最高水平的清洁度。该系统由安装在平台上的集成洗涤模块组成，由多个组件组成，包括压力容器、支撑底座、化学储层、洗涤刷和化学喷射单元。压力容器设计用于处理直径达450毫米的晶片和宽度达300毫米的掩模。它被设计为与低温化学溶液结合使用，以去除基质表面的颗粒、土壤和有机残留物。支撑底座固定压力容器，并提供一个可调节的平台，压力容器可根据不同的清洁周期要求被提升或降低。它还作为安装洗涤模块、化学储层、注射机的平台。洗涤单元是一个圆柱形的外壳，包含一系列晶圆和遮罩架固定装置，用于在洗涤过程中固定基板。洗涤刷安装在设备顶部，以便有效清洁基板表面。化学储层为该过程提供清洁溶液。它是一个温度控制的工具，允许精确的化学溷合物比率和流量，以最佳的清洁结果。注入装置设计用于将加热的预溷合清洁溶液注入压力容器。这样可以确保基板均匀且彻底涂上清洁溶液，有助于确保清洁效果一致。除了清洁单元外，该型号还包括了一系列的监控装置，如监视器控制器。此组件旨在确保设备在整个过程中保持最佳性能和清洁度。DNS SS-W80A-AVR晶片和掩模洗涤器在基板表面上提供最高水平的清洁结果。凭借其集成的设计、自动化的清洁和精确的压力容器，它是最苛刻的晶圆和面罩清洁和污染物清除应用的理想解决方桉。