二手 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #293689357 待售
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ID: 293689357
晶圆大小: 6"
Spin scrubber, 6"
Non-SMIF Type
Loading position type: Left side
No GEM Controller
3-Colors signal tower
(2) Reverse units
Indexer unit:
Type: (4) Cassette
Wafer defect sensor and vaccumless A type
Transfer robot
TR Unit:
Dual arm transfer robot
Wafer defect sensor
Back-side spin unit:
Mechanical chuck
Brush nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front-side unit:
Vacuum chuck
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Side cabinet:
Jet pump
Meghcon cabinet
R/D Rack
Missing parts:
Servo AMO
5-Axis drive
T/R Board
2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR是一种晶圆和掩模洗涤器，旨在满足半导体工业的清洁要求。洗涤器利用各种清洁喷嘴和刷子来有效地清洁和维护晶圆和掩模表面。洗涤器装有135度可调头。可调头可用于晶片表面的精密清洁和角度控制，这对于化学洗涤剂的应用至关重要。此外，洗涤器还配备了全自动清洁系统，使洗涤和干燥过程自动化。洗涤器由高效无刷直流电机提供动力，提供强劲稳定的清洁性能。洗涤器采用全金属结构，在生产应用中保证了卓越的耐用性和可靠性。此外，洗涤器还配备了多种清洁喷嘴类型，用于各种晶圆和面罩清洁应用。洗涤器能够以超细清洁模式洗涤，包括CPU（化学处理）、ED（弹性变形）和PR-L（底漆还原）方法。此外,洗涤器的清洗速度范围很广,从每分钟0.1转到10,000转不等。这些速度提供了对洗涤过程的精细、一致的控制。洗涤器创造了一个显着减少的颗粒环境，因为它设计有一个防堵塞功能，消除在清洁产生的颗粒。这样就不需要在洁净室里完成精细的颗粒收集设备。最后,DNS SSW60A-AR与许多不同类型的晶圆尺寸兼容,包括200 mm和300 mm。这保证了洗涤器可以在各种生产应用中使用。总之，DAINIPPON SS-W60A-AR是一种用途广泛、可靠的晶片和掩模洗涤器。洗涤器提供晶圆和掩模表面的精确清洁，具有高效的无刷直流电机，与各种晶圆尺寸兼容。此外，洗涤器的设计是为了创造无颗粒的清洁环境，使其成为理想的洁净室生产应用。
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