二手 DNS / DAINIPPON TKSP-300S #9159919 待售

DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubber是为严格工业用途而设计的先进晶圆清洗设备。该系统提供行业领先的洗涤技术,以清洁和维护晶片和掩模,从而提高生产率和重复性能。DNS TKSP-300S消除了手动擦洗,取而代之的是将可靠的擦洗和充分的清洁与可重复性结合在一起的自动化过程。洗涤器由坚固的不锈钢底盘组成，具有坚固的IPM（智能工艺模块）和16位专用微处理器。它包含一个直观的'Jog&Shuttle'菜单导航单元，用户可以在其中设置诸如晶圆和掩模清洁周期以及化学过程等参数。接口还配备了多语言支持，在设置或操作洗涤器时提供便利。洗涤器还包括一个装载臂，保持维护水平低，并鼓励生产力。洗涤器内部还包括一个高效的快速返回化学浴，确保晶片在上腔内停留不到一秒钟。沐浴水的这种极快的变化确保在最短的时间内完成晶片清洗。洗涤器装有攻击性刷机，用于有针对性地洗涤污染物，如金属颗粒和有机污染物。画笔工具设计为无缝工作在所有类型的遮罩基板。此外，洗涤器运行两步清洁过程，确保最佳脱旗，去除疏水和带电材料，并允许最佳的离子污染控制。DAINIPPON TKSP-300S洗涤器还配备了有源空气过滤资产，可在整个模型中循环空气，帮助延长洗涤器寿命，并提供对空气传播颗粒的保护。设备还配备了先进的自动冲洗系统，可以清除晶圆或面膜上留下的任何输送气体或灰尘的痕迹。TKSP-300S洗涤器还提供增强的维护功能,并提供对设备状态和预防性维护的实时监控。洗涤器还包含一个安全登录机，允许操作员独占访问参数和监控功能。总体而言,DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubber是业界领先的晶圆清洁工具,它将增强的洗涤和清洁技术与自动化过程和用户友好的编程相结合,以可控和可重复的方式提供卓越的效果。