二手 ENTEGRIS NU-J6101 #293594350 待售

ID: 293594350
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Cleaning system, 12" 2007 vintage.
ENTEGRIS NU-J6101晶片和掩模洗涤器是ENTEGRIS Inc.为加工和清洁敏感半导体和光掩模基板而设计的专用清洁设备。该工具利用多个清洁周期、化学处理和先进的机器人技术,在各种介质上取得最佳的清洁结果,包括半导体和光掩模行业中最常用的材料。NU-J6101晶片和面膜洗涤器利用专利单级洗涤液提供非接触式清洁方法,以确保基板的完整性。一个先进的机械臂用来从架子上抓起基板,抓住它,根据需要在机器人站之间移动。机械臂为每种基材提供最佳的清洁工艺,包括微蚀刻和去离子水冲洗。在微蚀刻过程中,化学试剂、去离子水和超声波能量的结合被用于清除积聚物和污染物。微蚀刻后,机械臂将基板旋转至另一臂,用高纯度去离子水冲洗基板,以清除残留的污染物。晶片和掩模洗涤器还具有先进的监控系统,可实时连续监控洗涤过程。该单元可以检测任何异常,如运输过程中过度振动,必要时自动关闭机器。此外,洗涤器的高级计算机控制工具可实现精确的洗涤器模式控制,允许用户对资产进行特定清洁过程的编程。这种清洗过程的最终结果是完全清洁的晶圆或光掩模。这包括清除任何颗粒或污染物,包括那些太小而肉眼看不见的颗粒或污染物。由于最终产品是经过完美清洁的基板,这台机器使制造商能够投资于高质量的光掩模和半导体,这对于任何需要敏感数字数据的项目都是必不可少的。ENTEGRIS NU-J6101晶圆和掩模洗涤器是任何半导体或数字制造过程中必不可少的工具。该型号的创新洗涤技术和精确的机器人控制确保了最高质量的晶片和光掩模,这是任何精密制造任务的必要条件。
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