二手 ENTEGRIS NU-J6101 #9383262 待售

ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubber是一种全自动晶片和Mask清洁设备,旨在确保最高的产品质量和减少颗粒污染。NU-J6101具有安静、符合人体工程学的设计,可轻松融入任何清洁环境。晶片和蒙版洗涤器使用两个磁头,能够同时清洁一到两个5英寸或两个8英寸晶片或蒙版。洗涤器可调节10°至90°的清洁角度,速度高达500 rpm。ENTEGRIS NU-J6101包括一个7英寸的触摸屏，允许用户轻松编程和调整清洁参数。晶圆和蒙版洗涤器提供洗涤、加液洗涤和乳化等三种清洁模式的多功能性，以及专用的IC卡盘洗涤清洁模式。先进的清洁技术确保即使经过多次清洁周期也能完全清洁晶片和口罩。晶圆和掩模洗涤器采用三级污染分离设计。位于机器底部的一根排水管从腔室收集所有擦洗过的颗粒，然后将其送到内置的颗粒过滤器，从工艺出口溶液中过滤出来。然后收集过滤后的颗粒并准备处置。直观的用户界面旨在通过自动提示指定清洁过程的正确清洁参数来促进用户安全。NU-J6101可同时装有500 mL和1000 mL清洁溶液罐,并配有HEPA过滤系统。HEPA过滤装置有助于保持优越的洁净室环境，因为它捕获任何可能进入机器的空气中的颗粒。Wafer&Mask洗涤器还配备了自动盖子安全互锁机构，可防止机盖意外打开。ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubber是一种创新和高效的清洁工具,专门设计用于满足半导体行业的需求。它提供卓越的产品质量、可靠的清洁性能以及安全和符合人体工程学的用户体验。先进的功能和技术为用户提供了最高水平的清洁度和极致的可用性。