二手 GST GFC-1501A #9282157 待售
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GST GFC-1501A是为工厂自动化应用而设计的精密晶圆和掩模洗涤器。洗涤器利用高速机器人臂清洁和抛光半导体部件,提供优越的去除污染物从晶圆和掩模表面。洗涤器配备了独特的双路径刷子设备,可以对晶片和掩模表面进行均匀清洁。双路径刷子系统有助于减少缺陷,促进清洁效果的均匀性。这个单元还使洗涤器能够达到很高的性能水平,使它能够从晶圆和掩模表面清除污染物。机器人手臂由可靠可靠的马达驱动,精确度令人难以置信,可以精确移动晶圆和掩模表面,从而能够精确清洁和抛光两个表面。机器人手臂能够达到4Gs的加速度,并且可以达到5000mm/秒的速度,从而实现快速清洁性能。机器人手臂设计灵活,可以方便地到达晶片或掩模表面的几乎任何位置,从而实现卓越的清洁性能。GFC-1501A还配备了高效的微粒清除机,该机使用三级过滤工具捕获和清除小至1微米的微粒。此资产允许快速、彻底和可重复地清洁晶圆和掩模表面。此外,洗涤器还配备了自动装卸模型,可简化和自动化晶片和掩模处理。自动化装卸设备提供一致的操作,每小时可处理多达100个晶圆和口罩。GST GFC-1501A还提供了极其用户友好的操作和控制界面,便于设置和使用。这个界面可以让用户快速轻松地对洗涤器的设置进行编程,调整清洁和抛光参数,查看洗涤器的性能。GFC-1501A是工厂自动化应用的理想解决方桉,需要晶圆、面罩清洁和抛光的精确度和准确性。GST GFC-1501A以其可靠、耐用的结构、通用的设计、高速的机械臂和高效的微粒去除系统,为任何晶圆和掩模清洁应用提供卓越的清洁性能和可靠的操作。
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