二手 JAS 191 TM #9401541 待售
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JAS 191 TM是设计用于电子和半导体制造的晶圆和掩模洗涤器。该系统能够自动擦洗平面并清洁晶片框架和掩模的外部。它使用DI水进行清洁,能够同时进行多次磨砂。该单元的容量为每个循环24个基板,旨在保持低颗粒水平和清洁至亚微米水平。该机采用耐腐蚀不锈钢结构,采用不锈钢板覆盖,以减少架空污染。壳体设有可移动门,可选流罩再循环,可调节导轨调节磨砂循环高度,调节DI水压和洗涤运动的可调流阀。191 TM在直观、用户友好的触摸屏界面上运行。控制系统允许用户快速设置和调整磨砂周期的时间、压力和运动,以满足特定的要求。洗涤器还提供了一个自动循环优化功能,可以调整洗涤器循环,以达到最佳效果。JAS 191 TM使用旋转刷洗操作来有效清洁晶圆帧和蒙版。清洁溶液由低压泵输送,并从基板表面疏松污染。旋转的刷子遵循掩模或晶片的轮廓,以高度的精确度提供彻底的清洁。最后冲洗循环与DI水完成的过程,留下一个完美的清洁和干燥的底物。该系统旨在满足最高的行业标准,包括ESD兼容性和NEBS认证。它被设计为易于集成到现有的半导体或电子制造过程中。该机可以手动或自动模式操作,并易于调整以适应各种基板尺寸。191 TM在其设计中内置了多项安全功能,包括低压安全开关、用于DI冲洗罐的溢出安全壳,以及为在该单元附近工作的人员提供清晰的防护罩。经CE认证,符合安全和排放标准。
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