二手 JIUWEI TECH A 300 #9170641 待售
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JIUWEI TECH A 300晶圆和掩模洗涤器是一种为半导体晶圆和光掩模清洗而设计的自动化清洁工具。它配备了机器人机械手臂和清洁气刀。300设计了宽阔的腔室清洁区域,可以容纳多达300毫米的晶圆和掩模尺寸。晶片和口罩使用特殊的装载板牢固地放入腔内,可以很容易地打开和关闭。机器人手臂设计成沿着特定轨迹移动,并在清洁区域上精确定位晶圆或掩模。清洁气刀能够灵活调整其速度和角度,实现彻底清洁,不会对晶片表面进行苛刻的刮擦、凿削或涂抹。该室还配备了一个双集成、独立的输送机系统,使其能够全天24小时工作。气刀能够产生均匀的清洁参数,并与晶片表面保持恒定的接触。该室还采用超低惰性气体消耗和环境友好型氮(N2)净化循环设计。JIUWEI TECH A 300晶圆和掩模洗涤器用户界面具有基于多级图标的实时操作控制和监控系统。它还包括一个复杂的流程跟踪和可追踪性软件,使技术人员能够快速识别流程问题并进行实时流程调整。300晶圆和掩模洗涤器是先进半导体技术清洁的理想选择。它配备了先进的智能算法,以确保可靠高效的清洁过程,而不会浪费资源或损坏材料。该系统的自动化和控制减少了清洁过程中的错误,确保了尽可能最好的均匀晶片清洁的一致实现。
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