二手 KITEC RMM 510 #9262198 待售

KITEC RMM 510
ID: 9262198
Wafer scrubber.
KITEC RMM 510是一种晶圆和面膜洗涤器,设计用于晶圆和面膜的自动清洗。洗涤器采用3向运动机械臂系统,结合旋转刷子和高速气流深度清洁晶片和口罩。臂系统能够将旋转的刷子和喷嘴精确地围绕晶圆或掩模的任何3d表面移动,以确保最大的清洁效率。洗涤器采用先进的生态技术设计,将功耗和性能与洁净室兼容性相结合。该系统采用800Pa的高吸力和高达40米/秒的高速气流,以快速和完全地去除颗粒。洗涤器具有直观的用户界面,具有晶圆和蒙版的图形表示,以指导用户进行清洁,并促进一致的产品质量。它还提供了额外的安全功能,例如在过载、过温和工艺错误时自动关闭。此外,洗涤器可以编程多达21个配方,以满足不同的清洁要求。RMM 510自带3个独立的刷头,变速变压,效率最高。这与3个独立的喷嘴相结合,产生强大的甚至气流,以确保表面的深度清洁。这有助于消除手动清洗的需要,并提供一致和可靠的清洗过程。洗涤器内置化学传感器,可在适当浓度和适当时间精确添加洗涤剂,从而提高清洁质量和节省化学品。它还具有自动启动和停止功能,有助于监测清洁过程并节省能源。为确保最大安全和清洁质量,KITEC RMM 510符合CFR 21、EU GMP以及ISO 9001、ISO 14001和ISO/TS16949标准。它由不锈钢制成,具有耐腐蚀的气密涂层,满足生物和化学要求。它还具有一个可选的自动滤水器,以实现整个洁净室的兼容性。RMM 510是一种功能强大、经济高效且易于使用的解决方桉,可帮助确保晶圆和掩模清洁的最高质量。凭借先进的技术和直观的用户界面,它非常适合清洁室应用。
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