二手 KOCAT KSI-701 #9314418 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701是一款由KOCAT Corporation制造的高端重型晶圆和面罩洗涤器。它设计用于半导体组装和加工应用,非常适合大型生产线的需求。KOCAT KSI 701提供卓越的性能和易用性,具有广泛的清洁、擦洗和抛光功能。其主要目的是帮助清洁和恢复各种后端生产过程中使用的晶片和掩模的表面。它能够独立地擦洗晶片或面膜的两侧,从而使批量生产的工作得到快速有效的擦洗。KSI-701还能够通过高效和高效的使用来减少零件表面的污染和其他积聚。KSI 701是一款全自动机器,能够清洗、擦洗和抛光晶片和口罩,达到高标准的质量。这是通过集成功能的范围来实现的,如X-Y擦洗台、线性VPI擦洗系统和振荡擦洗系统。其先进的晶片处理器也增加了清洁能力,因为机器可以轻松处理直径达25mm的晶片。在安全维护方面,KOCAT KSI-701具有盖子互锁、气体关闭功能、自动水关闭功能等多种防护功能。这样可确保操作安全,并有助于减少手动维护的需求。它还具有一系列警报和传感器,使其能够检测其操作中的任何不规则性,以保护被擦洗的部件免受损坏。KOCAT KSI 701是一款创新产品,专为小型和大型半导体生产应用而设计,提供多种清洁、擦洗和抛光功能。可靠、高效、易用,非常适合高端和入门级生产线的需求。此外,其先进的安全和监测功能确保了质量和安全永远不会因速度而受到损害。
还没有评论