二手 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293665044 待售

LAM RESEARCH 2300 Coronus是一种晶圆和掩模洗涤器，为半导体器件制造提供先进的清洁控制。2300 Coronus旨在有效清除污染物,同时保持对洗涤过程的精确控制。洗涤器利用真空、清洁溶液和超声波技术相结合，有效地去除晶片和掩模中的颗粒和杂质。清洗过程由控制器监控,控制器具有实时图形显示,显示当前和历史晶圆及掩模清洗参数。洗涤器配有悬臂式洗涤头，可调节，以达到最佳洗涤效率。这种洗涤头的设计提供了更大的清洁覆盖范围，同时最大限度地减少晶片边缘损坏。洗涤头也可调节，用于清洁粒径、洗涤压力和往复运动。洗涤器采用三区洗涤设备，包括蒸发干燥区、洁净室转移区和洗涤区。在蒸发干燥区，晶片被空气射流扫过，同时被超声波振动作用擦洗，以获得最大的芯片轮廓清洁度。洁净室转移区缓冲汽化颗粒，防止其在转移过程中重新沉降在晶片上，而洗涤区则采用温和的洗涤动作有效清除碎屑。除了三区洗涤系统外，LAM RESEARCH 2300 Coronus还设有流体输送单元。这台机器的设计目的是将适当数量和类型的清洁化学物质应用于晶圆。该工具能够应用各种化学方法，如HFE、IPA和DI Water，同时准确监测和控制清洁参数，以确保最佳清洁结果。2300 Coronus专为高吞吐量操作而设计,提供了广泛的过程控制选项。它配备了支持用户可编程配方和日志记录的高级软件包。该软件还具有晶圆和掩模跟踪、报警通知和自动关闭等内置安全功能。LAM RESEARCH 2300 Coronus是一种高效、可靠的精密有效晶片和面罩洗涤工具。