二手 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768 待售

LAM RESEARCH 2300 Coronus是为高科技半导体工艺而设计的晶圆和掩模洗涤器。洗涤器使用由精密离子源阵列组成的专有系统，提供高精度的清洁和先进的等离子源技术，以最大限度地提高洗涤器和清洁功率。Coronus专为多种应用而设计，包括用于湿洗和干洗、面罩清洗、晶圆洗涤和等离子体灰化。日冕由几个主要成分组成。它有一个离子源阵列，电源，真空泵，和一个机械臂移动工具在基板表面。离子源阵列为极小的颗粒物提供了强烈的等离子体清洁，可以根据应用调谐到不同的波长和能量。电源控制等离子体强度，确保精确清洁，而真空泵保持工具和基板的内部清洁。机械臂允许自动擦洗,从而将晶圆或掩模的处理工作转移到单个操作点。Coronus先进的等离子体清洗系统可以处理尺寸达12英寸的基板，清洗速度比手动洗涤快三倍。该工具还设计用于支持各种形状、大小和组成的晶圆基板。Coronus强大的设计和先进的电子设备使它能够有效地清洁甚至最具挑战性的表面。Coronus具有极高的能效,其环保设计限制了有害气体的排放,同时保持了高性能和低维护。该单元的模块化设计和开放式体系结构使其易于维护和升级。此外,由于Coronus与各种自动化和过程监控系统兼容,因此能够快速集成到现有的半导体生产线中。总体而言，2300 Coronus是一种可靠高效的晶圆和掩模洗涤器，专门设计用于半导体生产。它结合了先进的等离子体技术和自动化，提供精确的清洁和高性能的结果。Coronus的模块化设计和灵活的体系结构使其成为能够满足各种需求的高能力工具。