二手 LAM RESEARCH DSS 200 #293595364 待售

LAM RESEARCH DSS 200 Wafer&Mask Scrubber是一种最先进的设备，设计用于清洁半导体制造过程中的薄膜蚀刻残留物。该系统设计用于使用低磨料技术安全擦洗和还原多种基材，如硅片、介电膜和金属面膜。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200由两个主要单元组成；一个基本单元和一个洗涤器单元。基地单元是一个开放式框架结构，具有人体工程学平台，对人体工程学友好操作；可调量规控制；以及用于精确液体输送的不锈钢洗手盆。洗涤器单元包括所有必要的工具和清洁部件，包括一个可旋转的晶片平台、两个洗涤垫和两个弹簧加载的清洁手指，以实现精确和高效的清洁。DSS 200还配备了温度、湿度和压力控制单元，有助于确保有效洗涤的最佳条件。此外，该机设计有多种安全特性，如安全把手握把和自动关闭工具，以帮助确保安全操作。资产提供各种先进技术，以确保最高水平的清洁。最显着的进步之一是Active Jet Purge™,它提供零磨料介质的高效擦洗,以确保最高水平的清洁。其他先进技术,包括热成像、扩展擦洗技术和自动检测Rotation™有助于确保每个基板都应用正确的擦洗参数。除了擦洗功能外,ONTRAK DSS 200还提供高级统计过程控制,使操作员能够跟踪和分析擦洗性能和清洁度结果。该模型还包括几个方便功能，如自动启动和自动停止模式，多工具加载和卸载，以及粒子计数监控。因此，LAM RESEARCH DSS 200为去除薄膜蚀刻残留物提供了有效的解决方桉，使其成为半导体制造质量和工艺控制的理想选择。其主动清洗技术与先进的统计过程控制能力相结合，使LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200成为强大高效的洗涤设备，确保了质量和可靠的效果。