二手 LAM RESEARCH DSS 200 #293595365 待售

ID: 293595365
优质的: 1993
Scrubber 1993 vintage.
LAM RESEARCH DSS 200晶片和掩模洗涤器是一种高精度的工具,用于清洁晶片和掩模免受污染。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200提供无污染操作,专为洁净室使用。它由不锈钢制成,寿命长,耐腐蚀性好。DSS 200采用旋转刷和可移动/可更换除气桨的组合,采用两步洗涤工艺。这个分两步的过程在保护其表面的同时,从晶圆和掩模中去除颗粒、盐残留物和其他污染物。洗涤器还包括一个高流量过滤设备,有助于确保一致的结果。ONTRAK DSS 200提供了广泛的洗涤参数,以满足各种生产要求。其温度范围为20°C至40°C,温度精度为+/-1°C,以及可变磨砂刷速度高达800 RPM。压力和能见度传感器可以检测何时存在晶片或掩模,并进行相应的调整。声感系统可防止残留的超压,确保结果一致。洗涤器的宽度为33英寸,高度为51英寸,使其在洁净室设置中成为一个大而强大的装置。LAM RESEARCH DSS 200的总重为690磅,运行在单一三相电源上。它有一个8英尺排气烟囱出口,设计的空气容积高达650立方英尺每分钟。洗涤器还有一个直接驱动的电动机,用于更大的控制。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200还具有多种安全功能。照明互锁装置确保操作员的安全,内置滤波器将在电源故障时保护洗涤器。洗涤器还包括一个高级诊断工具,提供前所未有的性能洞察力。DSS 200晶圆和蒙版洗涤器是清洁环境的理想选择。它旨在提供可靠一致的性能,其先进的安全特性是一个额外的好处。对于卓越的洗涤体验,ONTRAK DSS 200是理想的解决方桉。
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