二手 LAM RESEARCH DSS 200 #9390058 待售

LAM RESEARCH DSS 200是一种先进的晶圆和掩模洗涤器，用于清洗和洗涤任何半导体晶圆和光掩模表面。这款洗涤器采用多种清洁技术，旨在确保彻底清洁，同时避免对敏感晶片和光掩层造成损害。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200采用超高速洗涤和Er：YAG激光清洗相结合的方式运行。在擦洗过程中,由精密电动臂组件控制的一系列擦洗头在晶圆和光掩模表面移动,额定速度高达18米/秒,即每分钟6万次擦洗冲程。这种洗涤作用是通过使用三把由高硬度聚合物刷毛制成的反向旋转刷子来实现的。每把刷子都是单独控制的，并针对压力、角度和速度进行了独特的编程，以确保晶圆或光掩模的表面得到均匀清洁。Er： YAG激光器还用于清洁晶圆和光掩模表面。激光可以去除处理过程中可以附着在晶圆和光掩模表面的小颗粒和污染物。激光通过由内部光定向系统精确控制的聚焦光束传递到晶圆或光掩模表面。这样可以去除在擦洗过程完成后残留在表面上的任何颗粒。DSS 200可用于清洁多种半导体晶片和光掩模，包括低k、SOI和基板膜。洗涤器是完全自动化的，它的控制逻辑可以根据用户的具体需求量身定制。此外,洗涤器使用所有行业标准连接协议,包括串行、以太网和SCSI。ONTRAK DSS 200晶片和掩模洗涤器是一种先进的工具，旨在提供最高级别的晶片和光掩模清洗。它的洗涤和激光清洗相结合，使它能够去除即使是最顽固的污染物，同时避免对敏感的器件层造成损害。LAM RESEARCH DSS 200是半导体制造商的重要工具,他们需要精确可靠地清洁晶圆和光掩模表面。