二手 LAM RESEARCH DSS 200 #9392384 待售

LAM RESEARCH DSS 200是为半导体处理应用而设计的自动化晶圆和掩模洗涤器。它通过去除晶片和掩模中的表面颗粒物污染，用于晶片和标线清洁。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200包括一个密封的磨砂室，使用过滤空气来减少空气中的污染物。它采用洗涤系统，采用单级双叶片叶轮来溶解颗粒物污染物。晶片和掩模放置在可转动的洗涤主轴上,该主轴按顺序为每个晶片和标线建立索引,从而确保彻底清洁。DSS 200在110V AC上运行,耗电量高达500瓦,负载容量高达40个晶圆和掩码。磨砂室尺寸为17 "W x 21" D x 18 "H，磨砂半径为2英寸，晶圆悬挂角度为80度，均匀擦洗。作为过程控制的附加措施，洗涤压力可以在0.5到5 psi的气压之间调节。一旦晶片和标线装入磨砂室，可编程控制器将接管洗涤过程。整个清洁周期通常包括预湿、擦洗、后湿和干燥阶段。超声波能量与洗涤空气相结合，有助于溶解污染物。洗涤后，晶片和口罩通过加热的干燥室，在那里空气再循环并排出以除去水分。综上所述，ONTRAK DSS 200是一种自动洗涤系统，旨在在半导体加工应用中清洗晶圆和掩模。它采用洗涤系统、单级两叶叶轮、可编程控制器和加热干燥室，全部由密封室内过滤空气支撑。洗涤压力、循环参数、排气控制都可以调节，提供最大的工艺控制和可靠的清洁效果。