二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #293587490 待售
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ID: 293587490
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Scrubber system, 8"
Clear band
Thick rollers
Megasonic
Clear glass over input and brush box
Dark glass over SRD and output
1997 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是一种晶圆和掩模洗涤器，设计用于从半导体晶圆和光掩模表面去除颗粒，用于创建集成电路轮廓。该设备集成了ONTRAK洗涤器和LAM RESEARCH Robotic Wafer洗涤器两种经过验证的洗涤器技术，以提供单台无与伦比的洗涤器性能。LAM RESEARCH/ONTRAK洗涤器采用高速纺纱刷，非常适合去除晶圆或光掩模表面的顽固颗粒和小缺陷。刷子通过旋转的浆液溶液提供动力，该溶液喷洒到表面并随碎屑一起流走。颗粒和碎屑被有效地吞没，并用泥浆从表面提起。这项技术对于用干晶片或掩模洗涤系统清除难以去除的较小颗粒和残留物最为有效。ONTRAK晶片洗涤器是一种机器人控制系统，提供受控、均匀的洗涤力和运动。这种类型的单元是清除大型面板洗涤应用中污染物所必需的，也是生产晶片批量洗涤的理想选择。它使用无刷马达，产生波刷的振荡运动，用于晶圆和光掩模前侧擦洗，由机械擦洗臂控制。刷刷运动旨在以一致和有效的方式有效地扫过表面，从而减少了擦洗所用的时间，并改善了颗粒的消除。这两种技术在ONTRAK Synergy机器中的结合，在擦洗晶片和光掩模表面时，其位移或表面特征最小，同时也提供最大程度的颗粒表面去除。特别适用于需要保持高粒子量、临界特征或高线密度的应用。这种先进的洗涤工具非常适合半导体晶圆和光掩模的制造。
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