二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9384775 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是一款前沿晶圆和掩模洗涤器，旨在为半导体生产应用提供高质量、精确的洗涤解决方桉。该系统结合了ONTRAK和LAM RESEARCH的先进技术,以最大限度地提高效率和有效性。该洗涤器采用双轴机器人手臂和精细螺距执行器，配备低压、低流量、可编程的刷头喷雾系统，旨在以最少的材料使用提供最佳的洗涤效果。机器人承担整个工作负载，允许晶圆表面的一致、均匀擦洗。该解决方桉还利用带主动粒子捕获过滤器的带静电、过滤、电子加热的干燥机。这样可以确保晶片迅速完全干燥，不会留下残留物。洗涤器的设计具有最大的灵活性,可容纳大多数现有晶圆直径可达300毫米,掩模尺寸可达220毫米。它还能够在一次运行中同时清理多达8个晶圆和4个掩码。它的设计还确保了高达6,000晶圆/小时的非常高的洗涤吞吐量。ONTRAK Synergy洗涤器为半导体生产过程带来了便利和准确性,其高度可定制的自动化过程流旨在满足特定的生产要求。高级功能允许多种配置,例如高洗涤/烘干机循环、可针对各种表面几何形状进行调整的清洁喷嘴、计算机控制的干预点等等。洗涤器的设计符合自动化设备设计的最高标准，由特定于应用程序的要求驱动。在需要进行任何预防性维修之前，它每年能够维持2 000多万件零件。通过使用高级安全功能（如冗余传感器、联锁以及自动错误检测和恢复算法）可以确保这一点。在整个设计过程中,LAM RESEARCH Synergy洗涤器致力于提供经济高效的解决方桉。低运营和维护成本,加上灵活性和先进的自动化清洁工艺,使其成为生产级洗涤解决方桉的最佳选择之一。