二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9410727 待售

ID: 9410727
System.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是半导体工业中使用的晶圆和掩模洗涤器,用于提高半导体器件的可靠性和均匀性。该设备采用ONTRAK激光烧蚀技术和LAM RESEARCH Technologies洗涤系统的专门组合,以减少半导体制造过程中使用的临界掩模和晶片上的缺陷发生率。系统使用的激光烧蚀工艺精确地去除了设备制造过程中使用的金属、聚酰亚胺和低k介电材料的表面污染和图样缺陷。这个过程提供了一致的去除,而不影响底层基板。激光烧蚀过程完成后,该装置改用LAM RESEARCH/ONTRAK洗涤技术,促进接触面罩图样的均匀去除,减少缺陷颗粒的发生。ONTRAK Synergy机器全部以一种紧凑的设计包装在一起,非常适合在各种各样的半导体制造环境中使用。它还采用了自动无接触清洁工艺,以确保与正在清洗的部件的接触最小。这样既可以防止任何潜在的污染发生,也可以确保更清洁的部件。此外,该工具还利用一系列高级软件功能来精确控制资产参数,从而获得各种半导体应用程序的最佳结果。该模型在设计时考虑了安全性,具有多种特点和系统,以增强安全性,包括激光互锁系统、光帘和摄像头监控。这些设备还符合各种法规和标准,包括SEMI、安全与健康管理局和ISO概述的法规和标准。总体而言,LAM RESEARCH Synergy是一个高性能的清洁系统,旨在减少半导体制造过程中使用的临界掩模和晶片上缺陷颗粒的发生率。该装置采用先进的激光烧蚀和洗涤技术相结合,确保均匀一致的清洁,并保持表面完整性。此外,紧凑的尺寸和自动化的工艺使其非常适合在各种制造环境中使用。该机还采用了多种安全功能,以保证人员和设备的清洁环境安全。
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