二手 MAT 1207BWA #9153452 待售

MAT 1207BWA是一种晶片和掩模洗涤器，旨在为光掩模提供氧化保护和清洁。这种洗涤器在完成全部蚀刻或清洁过程后，可以彻底安全地清除口罩中残留的残留物。它具有各种功能,可提供卓越的清洁性能,如顶端加载晶片和掩模洗涤平台、强大的多级清洁工艺以及集成的次环境温度控制设备。洗涤器采用高功率、多级清洗工艺，溷合使用溶剂和洗涤剂溶液，并采用机械作用彻底清洁晶片和面膜表面。此过程在蚀刻或清洁过程完成后，清除晶片或掩模表面残留的各种污染物如粉尘、碎屑、颗粒、残留的光致抗蚀剂和单体。随着洗涤器平台的移动，刷子旋转，让洗涤剂溶液擦洗晶圆和面膜的表面。擦洗工艺高效有力，即使是最顽固的残渣也能清除。1207BWA洗涤器配有亚环境温度控制系统，可在整个分子清洗过程中精确控制温度。这种温度控制有助于保持表面的完整性，同时也提供了一个最佳的环境，让洗涤剂溶液提供深度和有效的清洁。这种温度控制还通过保持晶片和掩模的表面凉爽来防止形成冷凝，这可能导致化学污染。为了保证晶片和面膜的最高洁净度，洗涤器还配有一个内置的空气净化装置。这台净化机能够从空气中除去尘埃颗粒、碎屑和其他残留的光致抗蚀剂和碎屑，以防止晶片和掩模在洗涤过程中再污染。MAT 1207BWA晶片和掩模洗涤器为所有光掩模提供卓越的清洁和氧化保护。它结合了强大的洗涤工艺和精确的温度控制工具，以确保最佳的表面清洁度，而其空气净化资产则消除了灰尘、碎屑和任何可能导致进一步污染的残留光致抗蚀剂或碎屑。该洗涤器具有先进的特点，是任何光掩模清洗工艺的可靠高效的解决方桉。