二手 MAT MAT 507BW #9382388 待售

MAT MAT 507BW
ID: 9382388
Scrubber.
MAT MAT 507BW是一种创新的晶圆和掩模洗涤器,可以在晶圆制造过程中轻松减少颗粒污染和基材和掩模上的其他残留物。这种先进的洗涤器设计为高效去除有机和无机颗粒,允许快速加工多种底物。晶片和掩模洗涤器由一个紧凑坚固的不锈钢洗涤器室组成,该洗涤器室有两级除粒洗涤片。第一阶段用于从晶圆和网纹图样中去除颗粒。第二阶段有助于从SMIF/FOUP晶片的模式中去除颗粒。洗涤器还配备了自动化的多晶片盒式装卸设备,简化了晶片的装卸。MAT 507BW具有自动控制洗涤器操作的功能,具有晶圆计数、窗口大小、洗涤器压力、晶圆索引和传感器运行状况监控等高级功能。洗涤器还具有用于实时监测基板洗涤过程的压力感应元件,从而能够精确控制加工条件。洗涤器还有一个润湿系统,帮助保持洗涤器表面不断润滑,确保晶片的清洁和均匀洗涤。洗涤器还有一个先进的提取单元,帮助清除在洗涤过程中产生的任何颗粒。这有助于保持室内最佳的清洁水平,同时也防止颗粒粘附在晶圆和掩模上。洗涤器还具有用户友好的编程和操作命令,使其易于使用。MAT MAT 507BW是一种多功能洗涤器,非常适合用于半导体晶圆的制造和掩模清洗过程。它的多晶片卡带处理机加快了洗涤过程,同时也有助于降低污染物进入腔室的风险。其先进的提取工具有助于保持加工环境的清洁和无颗粒,同时其压力感应元件确保精确和一致的洗涤。这种先进的晶片和掩模洗涤器是工业上有价值的工具,其强大的设计确保了可靠、高质量的性能。
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