二手 MICRO AUTOMATION 2066 #104076 待售

MICRO AUTOMATION 2066
ID: 104076
晶圆大小: 4"
Wafer cleaners, 4" 0.6 kW Facility: Air: 60 PSI N2: 40PSI DIW: 40PSI.
MICRO AUTOMATION 2066是为高通量半导体制造工艺而开发的晶圆和掩模洗涤器。它是一种集成的高产洗涤设备,用于从污染和碎片中回收晶片、口罩和其他表面。2066年采用空气动力磨砂刷元件、泡沫垫和创新面膜磨砂头,完全去除颗粒物,减少人为失误的可能性。强大的磨砂刷元素提供了卓越的性能铬,二氧化硅,铝和环氧基表面。符合人体工程学设计的磨砂垫附件在高分子和低分子表面上提供无与伦比的性能。MICRO AUTOMATION 2066附有光刻擦洗元件,旨在最大限度地提高擦洗质量,同时提高吞吐量。它也只需要最低限度的维护,具有可调的擦洗角度和变速控制器,可增强擦洗性能。可移动的磨砂头可以均匀地清洁最难到达的零件,从而提高生产率。2066还包括一个可调喷头,允许清洁溶液的精确应用。独特的雨刷射流允许清洁溶液精确地放置到表面。可调喷嘴进一步控制清洁溶液的应用,确保均匀覆盖和快速清洗过程。MICRO AUTOMATION 2066的特色是水回收系统,收集多余的清洁溶液,并提供一个安全且具成本效益的处理受污染物质的方法。该机组还提供低温加热机,以提高清洁效率,减少循环时间。2066提供了易于使用的设计和全面的功能,使其成为高通量半导体制造的理想机器。它提供了更高的准确性、更低的运营成本、更好的吞吐量和更好的符合人体工程学的工作环境,使其成为任何半导体制造设施的重要工具。
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