二手 MTI MULTIFAB #97291 待售

MTI MULTIFAB
ID: 97291
晶圆大小: 6"
Coater Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler Side dispense for liquid HMDS dispense Tritec resist dispense Coat bowl Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost Spare parts package included ($5,000 value) Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB是一种高效、高效的晶圆和掩模洗涤器溶液。这种洗涤器旨在帮助清除电子芯片制造过程中可能捕获的残留颗粒和杂质。MULTIFAB是半导体工业中使用的一种工具,用于生产出质量最高、性能可靠的芯片。洗涤器的工作原理是使用可行的水、溶剂和气流组合。一旦晶片和/或蒙版被放置在洗涤器中,清洁过程就开始了。分配水和/或溶剂是为了帮助溶解制造过程中可能捕获的颗粒和杂质。一旦颗粒和杂质被溶解,一个强大的气流被用来帮助擦洗远离晶片和/或面罩。为了确保有效和一致的结果,洗涤器提供了一种可编程的循环布局,允许根据材料和颗粒的类型对晶片和/或掩模进行量身定制的清洗。洗涤器具有在清洁过程中移动晶片和/或口罩的有效输送器系统。这种输送机系统有助于将晶片和/或口罩的人工处理风险降至最低,从而确保它们在运输过程中不会受到进一步污染。洗涤器还配备了多个洗涤喷嘴,以不同角度放置,确保了最佳有效的彻底洗涤。MTI MULTIFAB还配备了几个使用增强功能。这包括全面的配方设置、过程中传感技术、可调参数、组合洗涤功能和数据记录功能。这样可以确保洗涤器可以根据某些晶片/掩码的特定要求进行调整,同时还可以记录其使用情况的数据。MULTIFAB是一种高效可靠的洗涤器溶液,用于去除晶圆和掩模中的颗粒和杂质。水、溶剂、气流的结合加上可调参数、输送机系统、数据测井能力,共同发挥作用,确保生产出质量最高的芯片。
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