二手 MTI MULTIFAB #97293 待售
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ID: 97293
晶圆大小: 6"
Developer
Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler
Develop bowl
Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost
Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense
Develop module will be set up with one side dispense for DI water
Spare parts package included ($5,000 value)
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB是一种晶片和掩模洗涤器,提供有效、一致和可重复的晶片和掩模清洗。它利用电化学工艺、超纯水洗涤、气相洗涤的组合,安全快速地去除表面颗粒、污染和残留物。MULTIFAB专为提供最大清洁性能而不会损坏敏感表面而设计。结合多种清洗技术,MTI MULTIFAB是目前市场上最通用、最坚固的洗涤系统。MULTIFAB旨在有效清洁各种表面,如二氧化硅、氮化硅、玻璃或金属。它还会清洗各种污染物,如光致抗蚀剂、蚀刻残留物和粒子。它旨在去除有机物或无机物的残留物。MTI MULTIFAB所采用的电化学工艺涉及使通电离子通过溶液,以吸引和分解底物或掩模表面上的化学键。这有效地清除了表面颗粒、污染物和残留物。洗涤和化学工艺的结合确保了有效、一致和可重复的清洁性能。除了电化学工艺外,MULTIFAB还利用了超纯净的水洗涤工艺。它使用超纯水来松开基板或掩模表面的颗粒。这一过程使它们容易受到电化学过程的影响,并迅速从表面清除污染物。MTI MULTIFAB还利用先进的蒸气相洗涤工艺来有效清洁基材和面膜。这一过程利用超纯净水的细雾喷洒到表面,以便深入到表面,破坏任何污染物或残留颗粒。先进的回收技术允许长时间连续清洗晶片和口罩。MULTIFAB旨在保持低运营成本,同时保持高质量的结果。它利用大容量的液罐,允许延长洗涤周期,同时也允许经济高效的操作。它还具有先进的用户界面,允许快速、轻松地执行操作和维护。MTI MULTIFAB为各种晶圆和掩模材料提供可靠高效的清洗。它结合了工艺、先进的液罐和用户界面,确保了经济高效的解决方桉,能够快速高效地清洁基板和口罩。它是市场上最通用、最健壮的洗涤系统。
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